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EUV 光罩市場領導廠商IMS，台積電買股權引三星關切 - 科技新報

南韓媒體報導，台積電12 日臨時董事會決議，以不超過4.328 億美元(約新台幣138.5 億元)，自英特爾取得10% 地利半導體設備商IMS 股權。

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台積電核准不超過美金4.328億元持股10％EUV光罩設備公司IMS
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光罩高成本是投入十二吋晶圓瓶頸:台積電,TSMC,其他電子邏輯元件

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