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靜電吸盤
裝置- TWI518835B - Google Patents
依據本發明之
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裝置,由於係透過片狀或薄膜狀黏接材料將加熱構件黏接於
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部之另一主面,且透過有機系黏接劑層將黏接有該加熱構件之
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部與藉由絕緣性片而 ...
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產品資訊 - 瑞耘科技
瑞耘科技設計與製造的陶瓷
靜電吸盤
產品,可應用於真空系統中保持半導體和非導體(矽晶圓、玻璃)基板的吸附。我們亦將
靜電吸盤
應用延伸至自動化領域,使靜電吸附功能可廣泛 ...
靜電盤的吸附原理-
靜電吸盤
新品及維修
以Johnson-Rahbek所主導的
靜電吸盤
,是透過調整介電層的絕緣性,以少量通過的電流來吸附對象物。將內部電極加壓電壓後,電荷慢慢地往表面移動,產生虛擬電極。產生的虛擬 ...
E-CHUCK
靜電吸盤
製造 - 先進應用有限公司
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之優勢如下:. 1、為整接觸面吸附,可吸附鏤空箔板。 2、使用靜電力吸附,可在真空環境下使用。 3、傳統機械夾持邊緣會有夾痕,
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無此問題。
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的優勢 - 瑞耘科技
Advantages of Electrostatic Chuck · 可於真空環境下產生吸力 · 無微粒產生 · 高平坦度 · 吸附力量均勻 · 可控制溫度 · 可用於多孔材料.
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靜電吸盤
的基本構造和原理
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的構造和原理對很多人來說都還是很陌生的。這裡有詳細說明。 1。種類:基本分為兩類。即庫侖類和JR或Johnsen-Rahbek。 2。兩類吸盤都靠靜電荷的同性相吸來 ...
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解決方案 - 科治新技股份有限公司
ESC 原理是藉由施加超過1000伏的高電壓於電極承載板上產生
靜電
力,而使電極承載板和晶圓間產生吸附,配合冷卻裝置讓成膜/蝕刻製程能有效被控制。
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