光罩(英語:Reticle, Mask):在製作集成電路的過程中,利用光蝕刻技術,在半導體上形成圖型,為將圖型複製於晶圓上,必須透過光罩作用的原理。
光罩是在積體電路,如LSI,的製造過程中使用的必要基本設備。它是一片透明的石英玻璃,其主要用途在於將積體電路之各種電路設計圖形轉化為晶圓製造廠大量生產所需的 ...
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