論文摘要灰階光罩有許多不同的光罩製作方式,因為微影製程簡單,近年來備受矚目,有半階光罩、HEBS玻璃灰階光罩、雷射直寫(Laser Direct Write)玻璃灰階光罩。 ; 2006 · 英文.
中文詞彙, 英文翻譯, 出處/學術領域. 光罩, photomask, 【資訊與通信術語辭典】. 交替式相移光罩, alternating phase shifting mask{=Alt-PSM}, 【電子工程】.
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