光罩係生產積體電路所需之模具,其製造過程是將積體電路所需的電路圖案,利用圖形產生激將電路圖案曝光至塗有感光材料的玻璃平板上,再藉由顯影、化學蝕刻 ...
光罩(英語:Reticle, Mask):在製作積體電路的過程中,利用光蝕刻技術,在半導體上形成圖型,為將圖型複製於晶圓上,必須透過光罩作用的原理。
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