使用不鏽鋼的導體材料包覆光罩,能完全阻絕電場並避免靜電損害;特殊的支點機構設計能緩衝光罩在運輸時因震動產生的particle,並採用使用低釋氣材質,將光罩受到Haze汙染的 ...
家登歷經數十年自主研發的全方位晶圓暨光罩載具已然成為新進製程不可或缺的重要產品,伴隨先進製程快速發展,家登有信心成為該領域的領頭羊。 MORE.
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