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三福化TMAH回收明年雙位數成長 - 工商時報

三福化目前TMAH新廠前段回收產線已完工試車，後段純化廠將於明年下半年完工，預計第四季、後年第一季再製TMAH會送樣給主要晶圓廠客戶驗證。

實現綠色製造，十二吋晶圓廠TMAH削減量達成年度目標 - TSMC ESG

台積公司繼民國101年領先業界建造「氫氧化四甲基銨（TMAH）回收再利用系統」，民國108年進一步將系統從「高濃度回收」向「低濃度全處理」推進。經大量實廠 ...

我國IC製造業大宗廢棄物資源化發展概況(下) - 材料世界網

目前廢TMAH回收再生產品皆為降階異業再利用，TMAC與TMAX經回收業者電解處理即可再生為面板級TMAH，主要供應給國內面板業者於微影製程使用。然而，國內TMAH ...

TWI607987B - 顯影廢液之二次廢液中氫氧化四甲基銨的回收方法

... TMAH回收率為98.73%。實驗例三：. 取二次廢液8L，其內TMAH 2.148%，廢光阻為2.456%，以4N鹽酸中和至pH=1，再以10μm濾膜過濾，得到一澄清之四甲基銨鹽水溶液9.38L，其內 ...

TMAH廢液回收處理設備 - 台灣歐雅實業股份有限公司

台灣歐雅針對晶圓、光電面板等先進產業之含TMAH顯影劑廢液，透過豐富的離子交換樹脂應用實績以及多方面的技術支援，以特殊的系統流程規劃，可以使脫附作用完整，達成廢水之 ...

三福化續拓TMAH回收處理量；12/15法說釋展望

至於在明年展望上，三福化已規劃持續擴充顯影劑TMAH(四甲基氫氧化銨)回收處理量能，至明年第三季應可順利完成；三福化也持續在開發精密化學品半導體應用等 ...

三福化顯影劑回收擴大版圖純化產線明年Q3出貨晶圓大廠 - 鉅亨

三福化(4755-TW) 持續擴大半導體材料布局，積極發展廢液回收服務，展望今年，顯影劑(TMAH) 二廠的回收新廠已開始營運，純化廠預計將於明年第三季完工 ...

【2019 臺灣循環經濟獎】：典範企業介紹－產品獎 - 綠色經濟研究中心

自2007 年起，即著手研發協助下游光電業者廢水處理，以及化學液再利用的技術，並為國內首家開發出TMAH 回收再利用技術的企業。至今，其TMAH 的回收率高達99.08%，相比 ...

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